薄膜生长

AJA 磁控溅射

薄膜沉积 · 金属/氧化物

多靶位直流/射频溅射，适合制备高质量薄膜与多层结构。

多靶位 DC/RF 变厚度生长

MBE 分子束外延系统

半导体/氧化物 · 外延生长

高纯蒸发源与精确通量控制，制备高质量外延薄膜。

UHV 多源 高纯度

大连齐维 超高真空激光分子束外延

PLD/MBE · 高稳定性

用于氧化物等材料外延生长，具备激光蒸发源与多源切换。

UHV 多源 外延生长

SVT Associate 超高真空激光分子束外延

PLD/MBE · 超高真空

用于氧化物等材料外延生长，具备激光蒸发源与多源切换。

UHV 多源 外延生长

器件制备

沈科仪 磁控溅射

薄膜沉积

支持多种基底尺寸与工艺参数，满足日常薄膜沉积需求。

氩刻 电极生长

紫外光刻机

微纳加工

用于自旋电子学器件制备。

对准精度高 多次曝光

光学测量

磁光克尔显微镜

磁畴成像 · 原位观测

用于磁畴结构与翻转过程的显微成像与定量分析。

面外/面内 显微成像

变温 Rot-MOKE

角度分辨 · 变温测量

支持样品旋转与变温，实现磁光表征。

旋转角度控制 变温

布里渊光散射测量系统 BLS

超快动力学 · 非接触式光学探测

研究自旋波、磁振子，进行 DMI 测量。

波矢分辨 高灵敏度

输运测量

低温矢量超导磁铁

低温物性 · 多轴磁场

提供多方向磁场环境，适配低温输运与磁性测量。

多轴场 超低温

Lakeshore 低温磁场探针台

器件表征 · 变温变场

在受控温度和磁场下测试电学/磁电学器件特性。

变温 变场 多通道

铁磁共振

铁磁共振系统（FMR）

自旋动力学 · 共振表征

表征薄膜与纳米结构的磁各向异性、阻尼与交换特性。

宽频段 角度/温度控制