超高真空磁控溅射系统
发布时间： 2013-09-17
文章作者： 张芸 访问次数： 1727
| 型号规格 | JGP450 |
| 仪器负责人 | 陈焱 |
| 存放地点 | 科学楼505 |
| 应用范围 | 基片上溅射各种薄膜制作样品 |
