硅分子束外延系统
发布时间： 2013-09-17
文章作者： 张芸 访问次数： 460
型号规格 EVA-32 仪器负责人 蒋最敏, 樊永良 存放地点 科学楼304 应用范围 a. 二个室:进样室、生长室。 b. 二个蒸发源、一个P型B掺杂源和一个n型Sb掺杂源。 c. 反射高能电子衍射仪（RHEED） d. 由Sentinel Ⅲ控制膜的生长 应用于硅基低维材料生长 