硅分子束外延系统
发布时间: 2013-09-17     文章作者:     访问次数: 460

 

型号规格
EVA-32
仪器负责人
蒋最敏, 樊永良
存放地点
科学楼304
应用范围
a. 二个室:进样室、生长室。 b. 二个蒸发源、一个P型B掺杂源和一个n型Sb掺杂源。 c. 反射高能电子衍射仪(RHEED) d. 由Sentinel Ⅲ控制膜的生长 应用于硅基低维材料生长


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